深圳市光明區(qū)關于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質量發(fā)展的若干措施
各有關單位：
現(xiàn)將《深圳市光明區(qū)關于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質量發(fā)展的若干措施》印發(fā)給你們，請遵照執(zhí)行。執(zhí)行過程中遇到的問題，請徑向相應的職能部門反映。
深圳市光明區(qū)人民政府
2023 年 3 月 25 日
深圳市光明區(qū)關于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質量發(fā)展的若干措施
第一章 總則
第一條 為貫徹落實《加快推進傳感器及智能化儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃》《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展若干政策》（國發(fā)〔2020〕8 號）、《深圳市人民政府辦公廳印發(fā)關于加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干措施的通知》（深府辦規(guī)〔2019〕4 號）、《廣東省人民政府關于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》（粵府函〔2020〕82 號）、《深圳市人民政府印發(fā)關于推動制造業(yè)高質量發(fā)展堅定不移打造制造強市若干措施的通知》（深府規(guī)〔2021〕1 號）、《深圳市人民政府關于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》（深府〔2022〕1 號）、《深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022—2025 年）》等文件精神，促進光明區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展，加快建設智能傳感器中試熟化與產(chǎn)業(yè)化示范區(qū)，特制定本措施。
第二條 本措施適用于已登記注冊，具備獨立法人資格，從事智能傳感器研發(fā)、生產(chǎn)和服務的企業(yè)，以及其他事業(yè)單位、社會團體、民辦非企業(yè)等機構。
第三條 本措施重點推動中試平臺、封測平臺等公共服務平臺建設，著重提升智能傳感器創(chuàng)新產(chǎn)品研發(fā)能力，重點聚焦消費電子、智能駕駛、智能機器人、工業(yè)控制等應用領域發(fā)展基于MEMS 工藝的智能傳感器產(chǎn)品，并對承擔國家發(fā)展改革委、工業(yè)和信息化部、科學技術部等部委開展的集成電路領域重大項目、重大技術攻關計劃和重點研發(fā)計劃項目予以支持。
第二章 推動重大項目落地
第四條 支持建設智能傳感器 MEMS 中試線。支持引進國內外一流 MEMS 晶圓制造產(chǎn)線建設運營機構，在光明區(qū)建設一條兼具研發(fā)中試和量產(chǎn)能力的亞微米級 8 英寸 MEMS 中試線，重點推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應力控制等核心制造工藝升級，形成標準工藝設計工具包（PDK），面向市內外有關企業(yè)提供研發(fā)中試和批量代工服務。對項目涉及的相關主體采取“一事一議”方式予以支持。
第五條 支持建設 MEMS 先進封測公共服務平臺。依托 MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業(yè)建設智能傳感器先進封測服務平臺，鼓勵區(qū)內相關企業(yè)利用自有封測產(chǎn)線承接封測服務平臺服務需求，共同為企業(yè)提供封裝方案設計與仿真、封裝組裝、測試包裝等工藝定制化開發(fā)和產(chǎn)品封裝代工服務，滿足不同類別、不同原理的傳感器測試需求。對建設先進封測服務平臺，按照項目實際投資的 40%，給予最高不超過 1000 萬元補貼。對企業(yè)將自建封測線對外開放，配合區(qū)級智能傳感器先進封測服務平臺承接封測服務的，按服務合同額的 10%，給予每年最高 200萬元補貼。
第六條 支持建設技術協(xié)同平臺。鼓勵建設數(shù)字化、國際化、標準化的技術協(xié)同平臺，提供案例發(fā)布、供需對接、技術交流等創(chuàng)新體驗，推動實現(xiàn)消費電子、汽車電子、智能制造等應用領域與智能傳感器技術產(chǎn)品雙向匹配。遴選世界領先的智能傳感器技術協(xié)同平臺，對入選平臺分 3 期給予建設補貼，最高補貼 1000萬元。支持區(qū)內企業(yè)上平臺開拓市場，提升國際知名度和影響力，對使用區(qū)級智能傳感器技術協(xié)同平臺服務的企業(yè)，按照平臺當年度收取服務費用的 50%給予一次性補貼，最高補貼 20 萬元。
第七條 開展精準靶向招商。設立規(guī)模不少于 50 億元人民幣的智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金，開展股權投資，強化招商引資。瞄準智能傳感器行業(yè)領軍企業(yè)，引進國際領先的消費、汽車、工業(yè)智能傳感器整合元件制造商（IDM）落地。對經(jīng)認定的重大項目落地建設予以支持，按項目實際投資額的 20%，給予最高不超過5000 萬元獎勵。
第三章 提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能級
第八條 支持企業(yè)首輪流片。支持智能傳感器企業(yè)開展高端智能傳感器首輪流片，按照工程產(chǎn)品首輪流片費用（含 IP 授權或購置、掩模版制作、流片等）的 30%給予補貼，單個企業(yè)年度最高補貼不超過 300 萬元。鼓勵企業(yè)利用光明區(qū) MEMS 中試平臺流片，按首次流片費用的 60%給予補貼，單個企業(yè)年度最高補貼不超過 600 萬元。
第九條 開展關鍵核心技術攻關。支持智能傳感器相關企業(yè)或機構開展新型消費電子、智能駕駛汽車、智能機器人、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、工業(yè)控制等領域的中高端智能傳感器及智能硬件高端通用器件、關鍵設備、核心材料、先進工藝等技術研發(fā)和產(chǎn)品攻關，支持相關企業(yè)與國內頂尖科研機構合作提出自有專利技術。對國家、省、市立項的關鍵核心技術攻關項目，或國家、省、市級技術研發(fā)機構，在光明區(qū)建設落地的，最高按市級支持金額的 50%予以配套獎勵，最高不超過 1000 萬元。
第四章 支持企業(yè)做大做強
第十條 支持企業(yè)并購重組。重點支持本地智能傳感器芯片設計企業(yè)、系統(tǒng)集成廠商、儀器儀表廠商等企業(yè)兼并收購國內外智能傳感器上下游企業(yè)，光明區(qū)政府投資引導基金可共同出資參與或提供資金支持。對成功并購國內外智能傳感器領域上下游知名企業(yè)或研發(fā)機構且在光明區(qū)建設落地的，按并購金額的 10%給予獎勵，單個并購項目最高獎勵不超過 1000 萬元。
第十一條 支持建設先進封測產(chǎn)線。聚焦硅通孔技術（TSV）、3D 集成封裝等先進封裝技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化需求，重點支持國內外智能傳感器龍頭骨干企業(yè)在光明區(qū)建設先進封裝量產(chǎn)線，按照固定資產(chǎn)實際投入的 10%給予補貼，單家企業(yè)累計補貼最高不超過 1000 萬元。
第十二條 鼓勵智能傳感器專業(yè)園區(qū)建設。支持通過完善生產(chǎn)廠房、辦公用房、原材料倉庫、大宗氣站等配套基礎設施，并通過向入園企業(yè)提供配套公共服務等方式，打造智能傳感器專業(yè)園區(qū)。對符合條件的企業(yè)入駐經(jīng)區(qū)產(chǎn)業(yè)部門認定的產(chǎn)業(yè)用房，予以最高 20 元/平方米/月的租金補貼（對入駐“工業(yè)上樓”園區(qū)的補貼政策另行制定），單個企業(yè)年度最高補貼不超過 200 萬元。
第五章 加快重點行業(yè)示范應用
第十三條 加快新型智能傳感器產(chǎn)業(yè)化進程。鼓勵面向新型消費電子、汽車電子、工業(yè)控制等領域開展新型智能傳感器研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。對率先在全球實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應用，或率先突破國外壟斷的智能傳感器產(chǎn)業(yè)化項目，按項目實際投資 20%的比例給予一次性獎勵，最高不超過 500 萬元獎勵；對采購該類智能傳感器產(chǎn)品的，按首年度采購金額的 10%，單種產(chǎn)品最高不超過 500 萬元獎勵，單家企業(yè)累計不超過 1000 萬元獎勵。
第十四條 加快智能傳感器應用推廣。制定區(qū)級智能傳感器產(chǎn)品目錄，鼓勵市場主體加大產(chǎn)品研發(fā)與制造。通過雙向獎勵方式，鼓勵智能傳感器企業(yè)在消費電子、汽車電子、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)、工業(yè)自動化等領域進行產(chǎn)品應用推廣。對于企業(yè)銷售自主研發(fā)設計的智能傳感器芯片或模組產(chǎn)品，且企業(yè)年度銷售金額累計超過 500 萬元的，按年度銷售金額增量的 20%，給予最高 500萬元獎勵；對于企業(yè)采購此類產(chǎn)品，且年度采購金額累計超過500 萬元的，按年度采購金額增量的 20%，給予最高 500 萬元獎勵。
第十五條 推動制定國際通用的傳感器標準。鼓勵企業(yè)參與制定國際通用的傳感器標準。對主導制定國際、國家、行業(yè)、團體標準的傳感器相關企業(yè)或機構，分別一次性給予 100 萬元、50萬元、20 萬元和 10 萬元的獎勵。
第十六條 打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)良好發(fā)展氛圍。打造全球知名峰會品牌，加強智能傳感器領域全球人才、技術、項目等交流與合作。對舉辦經(jīng)區(qū)政府備案的專業(yè)性產(chǎn)業(yè)峰會、重大論壇等活動的機構，按實際發(fā)生額的 50%，給予最高不超過 200 萬元獎勵。
第六章 附則
第十七條 在符合《深圳市人民政府辦公廳關于印發(fā)加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干措施的通知》（深府辦規(guī)〔2019〕4 號）等文件的前提下，對承擔國家發(fā)展改革委、工業(yè)和信息化部、科學技術部等部委開展的集成電路領域重大項目、重大技術攻關計劃和重點研發(fā)計劃項目，在重大項目落地建設、關鍵核心技術攻關等方面可參照本措施相關條款實施。
第十八條 本措施原則上同市級以上政策可疊加享受，與光明區(qū)其它同類優(yōu)惠措施由企業(yè)按照就高不就低的原則選擇適用，不重復補貼，所需資金從光明區(qū)經(jīng)濟發(fā)展專項資金中列支，并納入?yún)^(qū)經(jīng)濟發(fā)展專項資金管理辦法進行管理，有數(shù)量和額度限制，受區(qū)經(jīng)濟發(fā)展專項資金年度總額控制，具體以當年發(fā)布的申請指南為準。
第十九條 本措施自 2023 年 4 月 6 日起施行，有效期 5 年，實施期間如遇國家及省、市有關政策規(guī)定調整的，可進行相應調整。本措施由深圳市光明區(qū)工業(yè)和信息化局負責解釋。
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