透射電鏡構(gòu)造原理

透射電鏡一般是電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源與控制系統(tǒng)三大部分組成。電子光學(xué)系統(tǒng)通常稱為鏡筒，是透射電子顯微鏡的核心，它又可以分為照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和觀察記錄系統(tǒng)。下圖是電鏡電子光學(xué)系統(tǒng)的示意圖，其中左邊是電鏡的剖面圖，右邊是電鏡的示意圖和光學(xué)顯微鏡的示意圖對(duì)比。由圖中可以看出，電鏡中的電子光學(xué)系統(tǒng)主要包括電子槍、聚光鏡、試樣臺(tái)、物鏡、物鏡光闌、選區(qū)光闌、中間鏡、投影鏡和觀察記錄系統(tǒng)等幾部分組成，其成像的光路與光學(xué)顯微鏡基本相同。

電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)中，一般將電子槍和聚光鏡歸為照明系統(tǒng)，將物鏡、中間鏡和投影鏡歸為成像系統(tǒng)，而觀察記錄系統(tǒng)則一般是熒光屏和照相機(jī)，現(xiàn)在的電鏡往往還配有慢掃描CCD相機(jī)，主要用來(lái)記錄高分辨像和一般的電子顯微像。下圖是電子光學(xué)系統(tǒng)的框架圖。

第一節(jié) 照明系統(tǒng)

照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡以及相應(yīng)的平移、傾轉(zhuǎn)和對(duì)中等調(diào)節(jié)裝置組成，其作用是提供一束亮度高、照明孔徑半角小、平行度好、束流穩(wěn)定的照明源。為了滿足明場(chǎng)和暗場(chǎng)成像的需要，照明束可以在5度范圍內(nèi)傾轉(zhuǎn)。

1.1電子槍電子槍可分為熱陰極電子槍和場(chǎng)發(fā)射電子槍。熱陰極電子槍的材料主要有鎢絲(W)和六硼化鑭(LaB6)而場(chǎng)發(fā)射電子槍又可以分為熱場(chǎng)發(fā)射、冷場(chǎng)發(fā)射和Schottky場(chǎng)發(fā)射，Schottky場(chǎng)發(fā)射也歸到熱場(chǎng)發(fā)射。場(chǎng)發(fā)射電子槍的材料必須是高強(qiáng)度材料，一般采用的是單晶鎢，但現(xiàn)在有采用六硼化鑭(LaB6)的趨勢(shì)。下一代場(chǎng)發(fā)射電子槍的材料極有可能是碳納米管。

A、熱陰級(jí)電子槍

熱電子槍由燈絲（陰極）、柵極帽、陽(yáng)極組成。常用燈絲為鎢絲（如H-800)、LaB6(如JEM-3010)。下圖為熱陰級(jí)電子槍的示意圖。其中左圖是電子槍自偏壓回路的示意圖，右邊是電子槍中等電壓面的示意圖。

下圖是熱陰級(jí)電子槍的實(shí)圖，其中左邊是鎢燈絲電子槍，右邊是六硼化鑭電子槍。鎢燈絲電子槍的特點(diǎn)是價(jià)格便宜，對(duì)真空系統(tǒng)的要求不高，一般用比較老式的電鏡中；而六硼化鑭燈絲的性能要優(yōu)于鎢燈絲，在現(xiàn)在的電鏡中，熱陰級(jí)電子槍一般采用六硼化鑭燈絲。

B、場(chǎng)發(fā)射電子槍

場(chǎng)發(fā)射電子槍沒(méi)有柵極，由陰極和兩個(gè)陽(yáng)極構(gòu)成。第一個(gè)陽(yáng)極主要使電子發(fā)射，第二個(gè)陽(yáng)極使電子加速和會(huì)聚。其電子槍結(jié)構(gòu)如下圖所示。

場(chǎng)發(fā)射電子槍可以分成三種：冷場(chǎng)發(fā)射（Cold Field Emission,FE）,熱場(chǎng)發(fā)射（Thermal Field Emission, FT），和蕭特基發(fā)射(Schottky emission ,SE)。場(chǎng)發(fā)射電子槍所選用的陰極材料必須是高強(qiáng)度材料，以能承受高電場(chǎng)所加之于陰極尖端的高機(jī)械應(yīng)力，鎢由于具有高的強(qiáng)度而成為較佳的陰極材料。場(chǎng)發(fā)射對(duì)真空的要求較高，所以一般來(lái)說(shuō)其價(jià)格較昂貴。冷場(chǎng)發(fā)射的優(yōu)點(diǎn)是電子束直徑小，亮度高，能量散布小，但為了避免針尖被外來(lái)氣體吸附，必須在10－10(Torr)的真空下操作，而且需要定時(shí)將針尖加熱至2500K，以去除吸附氣體原子，它的另一缺點(diǎn)是發(fā)射的總電流較小。熱賣發(fā)射電子槍在1800K下工作，不需要定時(shí)去除吸附氣體原子。其電流穩(wěn)定性較佳，所要求的真空度為10－9(Torr),要低于冷場(chǎng)發(fā)射，但其能量散布比冷場(chǎng)發(fā)射要大3~5倍。蕭特基發(fā)射電子桴的工作溫度也是1800K，它是在鎢（100）單晶上鍍ZrO層，從而將純鎢的功函數(shù)從4.5eV除至2.8eV，從而使得電子能夠很容易以熱能的方式逃出針尖表面，所需真空度與熱場(chǎng)發(fā)射接近。其發(fā)射的電流穩(wěn)定性好，發(fā)射的電流也大，而且其能量散布很小，只稍遜于冷場(chǎng)發(fā)射。其電子束斑直徑也要大于冷場(chǎng)發(fā)射。

不同電子槍的比較

1.2聚光鏡

聚光鏡用來(lái)會(huì)聚電子槍射出的電子束，以最小的損失照明樣品，調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度、孔徑半角和束斑大小。一般電鏡至少采用雙聚光鏡，對(duì)于較新的電鏡，很多采用二聚光鏡加一個(gè)mini聚光鏡的模式；甚至有采用三聚光鏡加一個(gè)mini聚光鏡的情況。當(dāng)采用雙聚光鏡時(shí)，第一聚光鏡一般是短焦距強(qiáng)勵(lì)磁透鏡，作用是將電子槍得到的光斑盡量縮小，第二聚光鏡是長(zhǎng)焦距弱透鏡，它將第一聚光鏡得到的光源會(huì)聚到試樣上，一般來(lái)說(shuō)，該透鏡對(duì)光源起放大作用。采用雙聚光鏡的優(yōu)點(diǎn)在于：擴(kuò)大了光斑尺寸的變化范圍，在不同的模式下，可以通過(guò)改變第一聚光鏡的電流，選擇所需要的光斑尺寸；可以減小試樣的照射面積，減少試樣的溫升；觀察時(shí)可以通過(guò)改變第二聚光鏡電流，改變?cè)嚇拥恼丈涿娣e；由于第二聚光鏡為弱透鏡，增加了聚光鏡和樣品之間的距離，有利于安裝聚光鏡光闌和束偏轉(zhuǎn)線圈等附件。

JEM－3010幾種光路的對(duì)比

第二節(jié) 成像系統(tǒng)

成像系統(tǒng)主要由物鏡、中間鏡和投影鏡及物鏡光闌和選區(qū)光闌組成。它主要是將穿過(guò)試樣的電子束在透鏡后成像或成衍射花樣，并經(jīng)過(guò)物鏡、中間鏡和投影鏡接力放大。

2.1物鏡物鏡是TEM的最關(guān)鍵的部分，其作用是將來(lái)自試樣不同點(diǎn)同方向同相位的彈性散射束會(huì)聚于其后焦面上，構(gòu)成含有試樣結(jié)構(gòu)信息的散射花樣或衍射花樣；將來(lái)自試樣同一點(diǎn)的不同方向的彈性散射束會(huì)聚于其像平面上，構(gòu)成與試樣組織相對(duì)應(yīng)的顯微像。TEM分辨本領(lǐng)的高低主要取決于物鏡；物鏡是強(qiáng)勵(lì)磁短焦距的透鏡（f＝1~3mm），物鏡的分辨率主要取決于極靴的形狀和加工精度。一般來(lái)說(shuō)，極靴的內(nèi)孔和上下極靴之間的距離越小，物鏡的分辨率越高，所以高分辨電鏡的可傾轉(zhuǎn)角度往往比較??；現(xiàn)在高分辨電鏡的物鏡放大倍數(shù)一般固定在一定的倍數(shù)（如50倍），只有在聚焦的時(shí)候才改變它的電流。在實(shí)際操作時(shí)，物距一般固定（一般可通過(guò)調(diào)節(jié)樣品高度來(lái)微調(diào)），所以在成像時(shí)，主要改變焦距f和像距來(lái)滿足成像條件。下圖是物鏡的示意圖和實(shí)物照片：

為了減小物鏡的球差和提高像的襯度，在物鏡后焦面上可安放一個(gè)孔徑可調(diào)的物鏡光闌（最小孔徑可以做到5微米），物鏡光闌的另一作用是進(jìn)行暗場(chǎng)及衍襯成像操作。在新的電鏡中，物鏡皆由兩部分組成，分為上物鏡和下物鏡，試樣置于上下物鏡之間，上物鏡起強(qiáng)聚光作用，下物鏡起成象放大作用。

2.2中間鏡中間鏡是弱勵(lì)磁的長(zhǎng)焦距變倍透鏡，在電鏡操作中，主要是通過(guò)中間鏡來(lái)控制電鏡的總放大倍率。當(dāng)放大倍數(shù)大于1時(shí)，用來(lái)進(jìn)一步放在物鏡像，當(dāng)放大倍數(shù)小于1時(shí)，用來(lái)縮小物鏡像。如果把中間鏡的物平面和物鏡的像平面重合，則在熒光屏上得到一幅放大的電子圖像，這就是成像操作；如果把中間鏡的物平面和物鏡的背焦面重臺(tái)，則在熒光屏上得到一幅電子衍射花樣，這就是透射電鏡的電子衍射操作。在物鏡的像平面上有一個(gè)選區(qū)光闌，通過(guò)它可以進(jìn)行選區(qū)電子衍射操作。

2.3投影鏡投影鏡的作用是把經(jīng)中間鏡放的像(或電子衍射花樣)進(jìn)一步放大，并投影到熒光屏上，它也是一個(gè)短焦距的強(qiáng)磁透鏡。投影鏡的激磁電流是固定的，因?yàn)槌上耠娮邮M(jìn)入投影鏡時(shí)孔徑角很小，因此它的景深和焦長(zhǎng)都非常大。即使電鏡的總放大倍數(shù)有很大的變化，也不會(huì)影響圖像的清晰度。目前，高性能透射電子顯微鏡大都采用5級(jí)透鏡放大，即中間鏡和投影鏡各有兩級(jí)。成像模式的三種放大倍數(shù)范圍：高放大倍數(shù)( ~500,000×)：MT= M0· MI1· MI2· MP，典型值：M0=50, MI1=3, MI2=15, MP=220，每一級(jí)都成放大實(shí)像稍小于500,000×者，減小中間鏡放大倍數(shù)。中放大倍數(shù)( ~10,000-50,000 ×)：MT= M0· MI1· MI2· MP，第一中間鏡、第二中間鏡形成一個(gè)復(fù)合透鏡低放大倍數(shù)( ~100-10,000 ×)：關(guān)掉第二中間鏡，物鏡、第一中間鏡弱激勵(lì)?；蛘哧P(guān)掉物鏡，第一中間鏡作物鏡，選區(qū)光檔作物鏡光欄。這種配置襯度好，常用于觀察低襯度樣品，放大倍數(shù)100-1000 ×

第三節(jié) 觀察記錄、真空與供電系統(tǒng)

3.1觀察與記錄系統(tǒng)觀察和記錄裝置包括熒光屏、照相機(jī)（底片記錄）、TV相機(jī)和慢掃描CCD。 不同電鏡的熒光屏發(fā)光強(qiáng)度是不同的，有的電鏡的熒光屏看起來(lái)不亮，但電子的強(qiáng)度是很強(qiáng)的，比如某些場(chǎng)發(fā)射電鏡，所以選擇曝光時(shí)間時(shí)要注意；照相用的底片是一種對(duì)電子束很敏感的感光材料制成，這種材料對(duì)綠光比較敏感，對(duì)紅光基本不反應(yīng)，因此可以在紅光下?lián)Q片和洗底片；TV相機(jī)是直接將光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，反應(yīng)速度極快，但不利于記錄；慢掃描CCD是最新發(fā)展出來(lái)的一種記錄方式，反應(yīng)速度較TV相機(jī)慢，但記錄十分方便。

3.2真空系統(tǒng)電鏡真空系統(tǒng)一般是由機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、離子泵、閥門、真空測(cè)量?jī)x和管道等部分組成。如果真空度不夠，就會(huì)出現(xiàn)下列問(wèn)題：1）高壓加不上去2）成像襯度變差3）極間放電4）使燈絲迅速氧化，縮短壽命。

3.3供電系統(tǒng)透射電鏡需要兩部分電源：一是供給電子槍的高壓部分，二是供給電磁透鏡的低壓穩(wěn)流部分。電壓的穩(wěn)定性是電鏡性能好壞的一個(gè)極為重要的標(biāo)志。加速電壓和透鏡電流的不穩(wěn)定將使電子光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生嚴(yán)重像差，從而使分辨本領(lǐng)下降。所以對(duì)供電系統(tǒng)的主要要求是產(chǎn)生高穩(wěn)定的加速電壓和各透鏡的激磁電流。在所有的透鏡中，物鏡激磁電流的穩(wěn)定度要求也最高。近代儀器除了上述電源部分外，尚有自動(dòng)操作程序控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)系統(tǒng).

第四節(jié) 主要部件的結(jié)構(gòu)和工作原理

4.1樣品臺(tái)

上圖是JEM-3010的樣品臺(tái)，現(xiàn)在電鏡的樣品臺(tái)有單傾臺(tái)和雙傾臺(tái)之分，單傾臺(tái)只能隨測(cè)角臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)（X軸），雙傾臺(tái)除了可以隨測(cè)角臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)外，還可以繞垂直于測(cè)角臺(tái)軸線的Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)。另外樣品臺(tái)按在電鏡中的裝入方式還可以分為側(cè)插式和頂插式，不過(guò)頂插式用得很少。

不同樣品臺(tái)的自由度：

1. 側(cè)插式單傾臺(tái)（4個(gè)自由度）：X、Y水平平移，Z軸垂直移動(dòng)， 繞X軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
2. 側(cè)插式雙傾臺(tái)（5個(gè)自由度） ：X、Y水平平移，Z軸垂直移動(dòng)，繞X軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繞Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
3. 旋轉(zhuǎn)式試樣臺(tái)（5個(gè)自由度） ：X、Y水平平移，Z軸垂直移動(dòng)，繞X軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

4.2電子束傾轉(zhuǎn)與平移裝置（電磁偏轉(zhuǎn)器）

如上圖所示，電子束的傾轉(zhuǎn)和平移是通過(guò)安裝在聚光鏡下方的兩個(gè)偏轉(zhuǎn)線圈來(lái)實(shí)現(xiàn)的。其中左圖所示的是平移的示意圖，它是通過(guò)上下偏轉(zhuǎn)線圈聯(lián)動(dòng)實(shí)現(xiàn)的，當(dāng)上偏轉(zhuǎn)線圈順時(shí)針偏轉(zhuǎn)θ角時(shí)，下偏轉(zhuǎn)線圈會(huì)同時(shí)逆時(shí)針偏轉(zhuǎn)θ角，從而使光路在總的效果上只產(chǎn)生平移，而不產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)；右圖是傾轉(zhuǎn)的示意圖，當(dāng)上偏轉(zhuǎn)線圈順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)θ角時(shí)，下偏轉(zhuǎn)線圈會(huì)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)θ+β角，使得光路總的效果產(chǎn)生了β角傾轉(zhuǎn)，而對(duì)樣品來(lái)說(shuō)其入射點(diǎn)的位置不變。

4.3消像散器消像散器可以是機(jī)械的，也可以是電磁式的。機(jī)械式的是在電磁透鏡的磁場(chǎng)周圍放置幾塊位置可以調(diào)節(jié)的導(dǎo)磁體，用它們來(lái)吸引一部分磁場(chǎng)，把固有的橢圓形磁場(chǎng)校正成接近旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的磁場(chǎng)。電磁式的是通過(guò)電磁極間的吸引和排斥來(lái)校正橢圓形磁場(chǎng)的。下圖是電磁式消像散器的示意圖，它是由兩組四對(duì)電磁體排列在透鏡磁場(chǎng)的外圍，每對(duì)電磁體均采用同極相對(duì)的安置方式。通過(guò)改變這兩組電磁體的激磁強(qiáng)度和磁場(chǎng)的方向，就可以把固有的橢圓形磁場(chǎng)校正成旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的磁場(chǎng)，起到消除像散的作用。在透射電鏡中，聚光鏡、物鏡、中間鏡下都安裝有消像散器，其中聚光鏡的像散比較好消除，而物鏡的消像散最重要，也相對(duì)來(lái)講比較復(fù)雜，尤其是在做高分辨時(shí)，物鏡像散的消除往往非常關(guān)鍵。不過(guò)現(xiàn)在隨著慢掃描CCD的引入，這個(gè)工作已經(jīng)相對(duì)來(lái)講變得較為容易了。中間鏡像散一般情況下不需要調(diào)節(jié)，一般只在衍射模式下需要調(diào)節(jié)衍射斑的像散。

4.4光闌TEM三種主要光闌是聚光鏡光闌、物鏡光闌、選區(qū)光闌，一般選用無(wú)磁性的金屬材料制作。下圖是光闌的示意圖。

1. 聚光鏡光闌的作用是限制照明孔徑角，在雙聚光鏡系統(tǒng)中，常裝在第二聚光鏡的下方。
2. 物鏡光闌又稱襯度光闌，通常安放在物鏡的后焦面上，作用是擋住散射角較大的電子，提高圖像的襯度，另一作用是在后焦面上套取衍射束的斑點(diǎn)成像。
3. 選區(qū)光闌又稱場(chǎng)限光闌或視場(chǎng)光闌，一般放在物鏡的像平面上。在JEOL-2010電鏡中，光闌的最小尺寸是5μm。

4.5透射電鏡分辨本領(lǐng)和放大倍數(shù)的測(cè)定

·分辨率是透射電鏡的最主要性能指標(biāo)，它表征電鏡顯示亞顯微組織、結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)的能力。兩種指標(biāo)：點(diǎn)分辨率—表示電鏡所能分辨的兩點(diǎn)之間的最小距離；

·線分辨率—表示電鏡所能分辨的兩條線之間的最小距離，通常通過(guò)拍攝已知晶體的晶格像來(lái)測(cè)定，又稱晶格分辨率。

低放大倍數(shù)是通過(guò)測(cè)定已經(jīng)光柵來(lái)確定，高放大倍數(shù)通過(guò)已知晶體的晶格像來(lái)確定。

第五節(jié) 目前常用電鏡的生產(chǎn)廠家、型號(hào)及性能

日本日立公司H－700電子顯微鏡，配有雙傾臺(tái)，并帶有7010掃描附件和EDAX9100能譜。該儀器不但適合于醫(yī)學(xué)、化學(xué)、微生物等方面的研究，由于加速電壓高，更適合于金屬材料、礦物及高分子材料的觀察與結(jié)構(gòu)分析，并能配合能譜進(jìn)行微區(qū)成份分析。分 辨 率：0.34nm加速電壓：75KV－200KV放大倍數(shù)：25萬(wàn)倍能 譜 儀：EDAX－9100掃描附件：S7010

JEM-2010透射電鏡加速電壓200KV，LaB6燈絲，點(diǎn)分辨率1.94

EM420透射電子顯微鏡日本電子）加速電壓20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV晶格分辨率2.04，點(diǎn)分辨率3.4，最小電子束直徑約2nm傾轉(zhuǎn)角度α=±60度，β=±30度

Philips CM12透射電鏡加速電壓20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KVLaB6或W燈絲，晶格分辨率2.04，點(diǎn)分辨率3.4，最小電子束直徑約2nm；傾轉(zhuǎn)角度α=±20度β=±25度Ceiss 902透射電鏡加速電壓50KV、80KVW燈絲頂插式樣品臺(tái)能量分辨率1.5ev傾轉(zhuǎn)角度α=±60度轉(zhuǎn)動(dòng)4000

FEI的Tecnai G2?F30是FEI公司（原Philip公司電鏡部）推出的一種較新的透射電子顯微鏡，可以選配能譜（EDS）、電子能量損失譜（EELS）、Z襯度成像(HAADF）和原位拉伸試樣臺(tái)等配件。其主要技術(shù)參數(shù)如下：1.信息分辨率極限U-TWIN 0.10nmS-TWIN 0.14nm2.點(diǎn)分辨率U-TWIN 0.17nmS-TWIN 0.20nm3.高分辨STEM分辨率U-TWIN 0.14nmS-TWIN 0.19nm4.樣品最大傾角：S-TWIN +/-40°

FEITitan80-300kVS/TEM是世界上功能最強(qiáng)大的商用透射電子顯微鏡(TEM)。Titan自2005年推出后便因其提供突破性成果的能力及其卓越的產(chǎn)品設(shè)計(jì)而備受贊譽(yù)。它已迅速成為全球頂級(jí)研究人員的首選S/TEM，從而實(shí)現(xiàn)了TEM及S/TEM模式下的亞埃級(jí)分辨率研究及探索。Titan所具有的穩(wěn)定性、高性能及簡(jiǎn)易性將把校正顯微鏡檢查帶入更高級(jí)別，從而使實(shí)現(xiàn)以不斷縮小的比例來(lái)研究材料的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)關(guān)系的新發(fā)現(xiàn)成為可能。Titan系統(tǒng)通過(guò)不斷拓展研究領(lǐng)域，以及幫助科學(xué)家與研究人員在納米研究方面獲得突破性成果，將把電子顯微鏡帶入一個(gè)嶄新時(shí)代。主要技術(shù)參數(shù)：1.TEM分辨率<1；2.STEM分辨率<1；3.能量分辨率<0.15eV或<0.25eV；4.加速電壓80-300kV

冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（Cold Field Scanning electron microscope）型號(hào)：JSM-7500F技術(shù)參數(shù)1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)2.加速電壓：0.1KV-30kV3.放大倍數(shù)：25-100萬(wàn)倍4.樣品室尺寸：最大200mm直徑樣品5.束流強(qiáng)度：10-13到2*10-9主要特點(diǎn)1.主動(dòng)式減震器；2.最先進(jìn)的磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無(wú)需UPS保護(hù) ；3.標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)；4.全自動(dòng)樣品更換氣鎖；5.全自動(dòng)樣品監(jiān)控系統(tǒng) ；6.全自動(dòng)物鏡光闌；7.多通道顯示系統(tǒng)；8.自動(dòng)減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置；

7.部分透射電鏡的高分辨結(jié)果

上圖是用JEOL-2010UHR電鏡做出來(lái)的高分辨像，該高分辨像是對(duì)一種有序的鈣鈦礦沿[01-1]方向成像時(shí)得到的，從照片中可以清楚地看到鈣鈦礦的A位離子清晰可見(jiàn)，因此其分辨率至少已經(jīng)達(dá)到2.8埃。下圖是用FEI最新的電鏡Titan80-300kVS/TEM做出來(lái)的掃描透射電子像（HAADF高角環(huán)狀暗場(chǎng)像），從圖像中可以看出其分辨率已經(jīng)達(dá)到0.8埃，而從傅立葉變換的結(jié)果來(lái)看，其實(shí)際分辨率最高已經(jīng)達(dá)到0.63埃。這是用掃描透射（STEM）方式成像得到的非相干像的分辨率，當(dāng)用普通的透射電子（TEM）成像方式成像時(shí)，其分辨率應(yīng)該會(huì)更高。