1. 韌性樣品離子減薄
a. 適用范圍：一般的金屬樣品，韌性好，容易磨樣至40~50μm。如銅合金、鋁合金、鎂合金、鋼、鐵，等等。
b. 如果樣品較厚或尺寸較大，使用電火花線切割或低速鋸，切取直徑大于3mm，厚度大于400μm的樣品。使用砂紙，將樣品雙面研磨至厚度為100μm左右。
c. 使用沖樣器，沖取直徑3mm的圓片。繼續(xù)研磨至40~50μm。
d. 使用離子減薄儀進(jìn)行離子減薄(通常使用Gatan 691)。離子減薄參數(shù)：初期使用4.5KeV，8度，直至出洞;接著4Kev, 5度， 20min;最后3~3.5Kev，3度，掃30 min，以獲得良好的薄區(qū)。
e. 如果TEM觀察時(shí)效果不好，需要使用低電壓和低的掠射角繼續(xù)減薄，直至觀察到良好的薄區(qū)。
2. 脆性樣品離子減薄
a. 適用范圍：如陶瓷樣品、各種燒結(jié)樣品等，韌性差，使用凹坑儀將中心厚度研磨至40μm左右。
b. 如果樣品較厚或尺寸較大，使用低速鋸，切取直徑大于3mm，厚度大于400μm的樣品。使用砂紙，將樣品雙面研磨至厚度為70μm左右。
c. 使用超聲波圓片切割機(jī)，切取直徑3mm的圓片。
d. 為了增加強(qiáng)度，使用AB膠在一面粘上內(nèi)徑2mm的鉬環(huán)或銅環(huán)。注意不要將膠弄到環(huán)的內(nèi)部。
e. 使用凹坑儀，對沒有粘環(huán)的一面凹坑。凹坑深度30μm左右，使得中心厚度在40μm左右。
f. 使用離子減薄儀進(jìn)行離子減薄(通常使用Gatan 691)。離子減薄參數(shù)：初期使用4.5KeV，8度，直至出洞;接著4Kev, 5度， 20min;最后3~3.5Kev，3度，掃30 min，以獲得良好的薄區(qū)。
g. 如果TEM觀察時(shí)效果不好，需要使用低電壓和低的掠射角繼續(xù)減薄，直至觀察到良好的薄區(qū)。
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